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Lithographic and micromachining techniques for optical component fabrication : 29-30 July 2001 San
出版社：
Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2001.
ISBN：
0819441546
出版年：
2001
作者：
Conference on Lithographic and Micromachining Techniques for Optical Fabrication
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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