电子束扫描曝光技术

出版社:宇宙出版社,宇航出版社
出版年:1985
作者:吴克华
学科:电技术、电子技术
资源类型:图书
细分类型:中文文献,非服务状态
相关推荐

基于扫描电镜电子束曝光技术的二硫化钼器件研究

  • 作者:李继超
  • 出版社:中国科学院大学集成电路学院
  • 出版年:2023

电子束扫描暴光技术

  • 作者:吴克华
  • 出版社:宇航出版社
  • 出版年:1985