碳化硅外延及外延层中缺陷研究

碳化硅外延及外延层中缺陷研究

出版社：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

出版年：2019

作者：李哲

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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