登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

基于离子束剥离技术的晶圆级氮化镓单晶薄膜制备与异质集成研究
出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出版年：2024
作者：石航宁
资源类型：图书
细分类型：学位论文
4浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

基于离子束剥离技术的氮化镓单晶薄膜电学性能研究
  • 作者：刘旭冬
  • 出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年：2024
...

基于离子束剥离技术的硅基III-V半导体异质集成研究
  • 作者：孙嘉良
  • 出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年：2024
...

铌酸锂单晶薄膜异质晶圆制备及性能研究
  • 作者：陈阳
  • 出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年：2023
...

氮化镓单晶薄膜制备和特性研究
  • 作者：刘贵锋
  • 出版年：2006
...

基于离子束剥离与转移技术的异质集成材料研究
  • 作者：黄凯
  • 出版年：2018
...

碳化硅基晶圆级氧化镓单晶薄膜及器件应用的研究
  • 作者：沈正皓
  • 出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年：2023