射频热等离子制备氧化亚硅及用于锂离子电池负极材料的研究

射频热等离子制备氧化亚硅及用于锂离子电池负极材料的研究

出版社：中国科学院过程工程研究所

出版年：2023

作者：杨宗献

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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