双频激光干涉仪实现纳米精度测量的研究

双频激光干涉仪实现纳米精度测量的研究

出版年：2005

作者：宁志高

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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双频激光干涉仪

作者：关信安
出版社：中国计量出版社
出版年：1987

基于双频激光干涉测量的大行程纳米定位技术及其应用研究

作者：于海利
出版年：2011

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作者：张埔榛
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出版年：2018

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出版年：2024

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出版年：2007