极低缺陷石英超光滑表面制备及其抛光机理研究

极低缺陷石英超光滑表面制备及其抛光机理研究

出版社：中国科学院大连化学物理研究所

出版年：2023

作者：吴泽华

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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