登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

掩模移动曝光系统精密定位工件台技术研究
出版年：2007
作者：佟军民
资源类型：图书
细分类型：学位论文
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

DMD无掩模数字光刻曝光系统的研究
  • 作者：王寅
  • 出版社：中国科学院微电子研究所
  • 出版年：2023
...

两维精密定位工件台数控系统的研究
  • 作者：李树秋
  • 出版年：1994
...

全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究
  • 作者：宋莹
  • 出版年：2014
...

基于单频激光干涉仪的精密工件台定位系统
  • 作者：王蕴
  • 出版年：2011
...

室内精密定位技术研究
  • 作者：徐振宇
  • 出版社：中国科学院空间应用工程与技术中心
  • 出版年：2017
...

全息凹面光栅设计理论扩展及曝光系统检测技术研究
  • 作者：赵旭龙
  • 出版年：2017