相关推荐

基于MEMS的光纤加速度计的研究

  • 作者:曾凡林
  • 出版年:2008

基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究

  • 作者:何昱蓉
  • 出版社:中国科学院半导体研究所
  • 出版年:2021

电容式微加速度计的CAD研究

  • 作者:周华
  • 出版年:1999

基于硅基三电极结构的电化学角加速度计研究

  • 作者:陈明惟
  • 出版社:中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年:2022

高精度硅微谐振式加速度计研究

  • 作者:胡宗达
  • 出版社:中国科学院地质与地球物理研究所
  • 出版年:2019