双频射频CVD金刚石制备与掺杂的生长动力学研究

双频射频CVD金刚石制备与掺杂的生长动力学研究

出版社：中国科学院大学材料科学与光电技术学院

出版年：2018

作者：李佳君

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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