登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发
出版年：2005
作者：黄国胜
资源类型：图书
细分类型：学位论文
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

液体热效应对浸没式ArF光刻性能影响的研究
  • 作者：樊明哲
  • 出版年：2007
...

浸没式ArF光刻CD均匀性研究
  • 作者：张飞
  • 出版年：2006
...

静电场辅助的压印光刻技术及其应用研究
  • 作者：刘民哲
  • 出版年：2016
...

浸没式光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究
  • 作者：孟泽江
  • 出版社：中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 出版年：2019
...

浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究
  • 作者：毕丹丹
  • 出版年：2018
...

浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究
  • 作者：诸波尔
  • 出版年：2018