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Nanolithography : the art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
出版社：Oxford : Woodhead Publishing, c2014.,Philadelphia, PA : Woodhead Pub., 2014.
ISBN：9780857095008
出版年：2014
作者：Feldman,Martin.
资源类型：图书
细分类型：中文文献,西文文献
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