硅基声子晶体及其在MEMS器件中的应用

硅基声子晶体及其在MEMS器件中的应用

出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

出版年：2019

作者：郑忱煜

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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