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Device and process technologies for microelectronics MEMS and photonics IV [i.e. V] : 5-7 December
出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2008.
ISBN：0819469718
出版年：2008
作者：Tan,Hark Hoe.
资源类型：图书
细分类型：西文文献,馆内阅览
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