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Advances in metrology for x-ray and EUV optics V : 18 August 2014 San Diego California United Sta
出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2014.
ISBN：9781628412338
出版年：2014
作者：Assoufid,Lahsen.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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