半导体湿法刻蚀加工技术

出版社:科学出版社
ISBN:9787030747440
出版年:2023
作者:陈云
学科:电技术、电子技术
资源类型:图书
细分类型:中文文献
相关推荐

半导体干法刻蚀技术

  • 作者:野尻一男
  • ISBN:9787111742029
  • 出版社:机械工业出版社
  • 出版年:2024

MEMS中PZT铁电薄膜的湿法刻蚀技术研究

  • 作者:郑可炉
  • 出版年:2004

GaN湿法刻蚀方法及其应用研究

  • 作者:张淼荣
  • 出版社:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
  • 出版年:2018

半导体干法刻蚀技术 :原子层工艺

  • 作者:莱尔
  • ISBN:9787111734260
  • 出版社:机械工业出版社
  • 出版年:2023