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Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics : Symposium held Nov. 29-Dec. 1 1989 B
出版社：Pittsburgh, Pennsylvania : MRS, 1990.
ISBN：1558990569
出版年：1990
作者：Symposium on chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics
资源类型：期刊(装订的)
细分类型：西文文献
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