接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究

接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究

出版年：2021

作者：张绍宇

资源类型：图书

细分类型：学位论文

1浏览量

问图书管理员

点赞

收藏

访问借阅管理系统

光刻机自动对准技术的研究和1：1扫描投影光刻机自动对准系统性能分析

作者：李少阳
出版年：1990

复合结构光栅大范围高精度光刻对准技术研究

作者：司新春
出版年：2016

基于位相衍射光栅的投影光刻机对准技术研究

作者：杜聚有
出版社：中国科学院上海光学精密机械研究所
出版年：2019

基于标记波形的光刻机硅片对准关键技术研究

作者：舒婷
出版社：中国科学院上海光学精密机械研究所
出版年：2022

基于视觉反馈的自动对准系统关键技术研究

作者：李勤文
出版社：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版年：2022

先进光刻对准标记的设计与研究

作者：周光迎
出版社：中国科学院微电子研究所
出版年：2023