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Surface scattering and diffraction for advanced metrology : 1 August 2001 San Diego USA
出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2001.
ISBN：0819441619
出版年：2001
作者：Gu,Zu-Han.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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  • 出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2001.
  • 出版年：2001