亚微米低占空比图形电子束曝光工艺研究

亚微米低占空比图形电子束曝光工艺研究

出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

出版年：2024

作者：吴止竞

资源类型：图书

细分类型：学位论文

1浏览量

问图书管理员

点赞

收藏

访问借阅管理系统

相变存储器电子束曝光工艺研究与新结构制备

作者：吕士龙
出版年：2008

0.1微米电子束曝光机电子光学系统的计算

作者：阎剑龙
出版年：1999

基于电子束曝光技术的硅纳米线器件的研究

作者：王颖
出版年：2010

基于电子束曝光技术的三维微结构研究

作者：宋志
出版年：2008

电子束曝光建模仿真及其在高精度图形保真研究中的应用

作者：赵国荣
出版年：2007

电子束曝光机图形数据格式转化软件的研制

作者：卫东华
出版年：1997