登录
机构网站
切换导航
首页
到馆服务
学科服务
研究支持
情报产品
数据资源
科学传播
关于我们
首页
馆藏纸本
图书详情
干涉检测的相干成像像差理论研究与分析验证
出版社:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版年:
2022
作者:
吕思达
资源类型:
图书
细分类型:
学位论文
1浏览量
问图书管理员
馆际互借
点赞
收藏
访问借阅管理系统
分享
相关推荐
剪切干涉波像差检测技术研究
作者:
李鹏
出版社:
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版年:
2022
光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究
作者:
吴飞斌
出版年:
2015
移相干涉术的高精度检测处理技术研究
作者:
李永国
出版年:
2007
干涉补偿检验成像像差理论及仪器传函优化方法研究
作者:
李明茁
出版社:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版年:
2023
双光栅Ronchi剪切干涉投影物镜波像差检测技术研究
作者:
卢云君
出版社:
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版年:
2023
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究
作者:
张璐
出版社:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版年:
2019
×
访问借阅管理系统