等离子体刻蚀工艺及设备

等离子体刻蚀工艺及设备

出版社：电子工业出版社

ISBN：9787121450181

出版年：2023

作者：赵晋荣

学科：电技术、电子技术

资源类型：图书

细分类型：中文文献

4浏览量

问图书管理员

点赞

收藏

访问借阅管理系统

多层磁性金属的等离子体刻蚀工艺与设备研究

作者：刘上贤
出版年：2015

相变存储器集成单元结构等离子体刻蚀工艺研究

作者：李程兴
出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出版年：2023

等离子体原子层刻蚀工艺技术研究

作者：权业浩
出版社：中国科学院微电子研究所
出版年：2024

基于模板-等离子体刻蚀的贵金属纳米结构制备与应用

作者：魏懿
出版社：中国科学技术大学
出版年：2023

基于氧等离子体刻蚀技术的分级纳米材料制备及其SERS和气敏特性研究

作者：范祥祥
出版年：2016

感应耦合等离子体刻蚀InP研究与14xxnm泵浦激光器制作

作者：朱海波
出版年：2005