基于计算全息的三维光刻方法研究

出版社:中国科学院光电技术研究所
出版年:2023
作者:王化宾
资源类型:图书
细分类型:学位论文
相关推荐

三维重建及基于计算全息的三维显示

  • 作者:张爱军
  • 出版年:2004

全息微立体光刻方法研究

  • 作者:王虎
  • 出版社:中国科学院光电技术研究所
  • 出版年:2022

掩模三维效应对先进光学光刻的影响研究

  • 作者:吴元芳
  • 出版社:中国科学院大学微电子学院
  • 出版年:2019

全息三维联测理论与方法

  • 作者:付成群
  • ISBN:9787118110593
  • 出版社:国防工业出版社
  • 出版年:2016

数字光刻机中的三维位移测量系统研究

  • 作者:郭磊
  • 出版社:中国科学院大学集成电路学院
  • 出版年:2022