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Advances in resist technology and processing XX : 24-26 February 2003 Santa Clara California USA
出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2003.
ISBN：0819448443
出版年：2003
作者：SPIE Conference on Advances in Resist Technology and Processing
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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Advances in resist technology and processing V : 29 February-2 March, 1988, Santa Clara, California
  • 作者：MacDonald,Scott A.
  • ISBN：88060780 74
  • 出版社：Bellingham, Wash., USA : International Society for Optical Engineering, 1988.
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  • 出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c1987.
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