亚波长分辨光刻介质特性与光刻方法研究

亚波长分辨光刻介质特性与光刻方法研究

出版年：2013

作者：王向贤

资源类型：图书

细分类型：学位论文

1浏览量

问图书管理员

点赞

收藏

访问借阅管理系统

金属/介质亚波长结构的超分辨特性研究

作者：李伶俐
出版年：2014

基于平板超透镜的可调谐亚波长成像和光刻研究

作者：余慕欣
出版年：2015

基于表面等离子体的超分辨干涉光刻原理和方法研究

作者：刘洪超
出版年：2018

基于表面等离子体亚波长金属结构的纳米光学器件及光刻技术的应用基础研

作者：徐挺
出版年：2011

光刻

作者：上海无线电十七厂
出版社：上海人民出版社
出版年：1971

光刻分辨率增强技术研究

作者：高松波
出版年：2008