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Atomic layer deposition of nanostructured materials
出版社：Weinheim : Wiley-VCH ; Chichester : John Wiley [distributor], 2012.
ISBN：3527327975
出版年：2012
作者：Knez,Mato.
资源类型：图书,期刊(装订的)
细分类型：西文文献
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Atomic layer deposition of nanostructured materials
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Atomic layer deposition applications 2
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