单芯片单面体硅微机械加工的热式气体流量传感器研究

单芯片单面体硅微机械加工的热式气体流量传感器研究

出版年：2018

作者：薛丹

资源类型：图书

细分类型：学位论文

1浏览量

问图书管理员

点赞

收藏

访问借阅管理系统

硅微机械传感器

作者：郑志霞
ISBN：9787308108799
出版社：浙江大学出版社
出版年：2012

硅微机械传感器

作者：(荷)威杰林克
ISBN：7801446062
出版社：宇航出版社
出版年：2003

(111)硅片的高性能热堆式气体流量传感器及其封装技术研究

作者：黄涛
出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出版年：2022

具有气味识别功能的MEMS气体传感器控制芯片的设计

作者：任旭东
出版社：中国科学技术大学
出版年：2023

高量程微机械压阻式加速度传感器研究

作者：黄全平
出版年：2002

微机械电容式加速度传感器及接口电路研究

作者：李宝清
出版年：1999