射频电感耦合放电模式转变与磁膨胀等离子体双层结构的实验研究

射频电感耦合放电模式转变与磁膨胀等离子体双层结构的实验研究

出版年：2018

作者：张逍

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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