等离子体玻璃刻蚀技术研究

等离子体玻璃刻蚀技术研究

出版年：2014

作者：张名川

资源类型：图书

细分类型：学位论文

1浏览量

问图书管理员

点赞

收藏

访问借阅管理系统

等离子体原子层刻蚀工艺技术研究

作者：权业浩
出版社：中国科学院微电子研究所
出版年：2024

AgInSbTe图形结构等离子体干法刻蚀研究

作者：陈国东
出版社：中国科学院上海光学精密机械研究所
出版年：2022

多层磁性金属的等离子体刻蚀工艺与设备研究

作者：刘上贤
出版年：2015

基于氧等离子体刻蚀技术的分级纳米材料制备及其SERS和气敏特性研究

作者：范祥祥
出版年：2016

基于SPM的微等离子体无掩模扫描刻蚀加工方法的研究

作者：文莉
出版年：2012

相变存储器集成单元结构等离子体刻蚀工艺研究

作者：李程兴
出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出版年：2023