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Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies : techniques fundamentals
出版社：Dordrecht ; Boston : Kluwer Academic, c1993.
ISBN：0792322657
出版年：1993
作者：NATO Advanced Study Institute on Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechno
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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