总剂量辐照引起的SOI材料与器件界面态表征

总剂量辐照引起的SOI材料与器件界面态表征

出版社：中国科学院大学集成电路学院

出版年：2022

作者：张铁馨

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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