高纯β-碳化硅晶须低温碳热还原制备工艺及机理

高纯β-碳化硅晶须低温碳热还原制备工艺及机理

出版社：中国科学院过程工程研究所

出版年：2024

作者：徐泺雲

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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