根据 IC Insights 发布的2021光电、传感器和分离式元件（O-S-D）市场调查报告指出，采用微机电系统（MEMS）技术制造的半导体传感器和执行器的销售额在2020 年增长11%后，预计在2021年将实现约 16%的增长，达到创纪录的 159 亿美元。
基于 MEMS 的压力传感器、麦克风芯片、加速度计、陀螺仪设备和执行器的总销售额预计每年将以两位数的百分比增长，直到2024 年，即下一次周期性经济放缓时间，预计增长速度将降至4%，随后2025年回温和反弹 9%。
2020 年下半年，在关键终端市场出现稳定和复苏的迹象后，制造商们迅速开始补充库存，因此基于 MEMS 的传感器、执行器产品表现出迅速的复苏增长。
2020年至2025年间，基于 MEMS 的传感器和执行器的销售额预计将以11.8%的复合年增长率增长至241亿美元，出货量将以13.4%的复合年增长率增长至321亿件。
包含MEMS换能器结构和电路功能的半导体传感器在全球销售额中占据了半壁江山，而执行器则几乎占据了全部，以实现终端应用。2020年，在总价值165亿美元的传感器、执行器市场中，约有 83% 的销售额来自采用 MEMS 技术构建的设备。
2020 年全球出货的309亿个传感器和执行器中，约有55%包含MEMS。基于MEMS传感器和执行器的销售额中，每年大约44%来自汽车应用。
