衬底改性对硅基氮化镓外延薄膜质量的影响研究

衬底改性对硅基氮化镓外延薄膜质量的影响研究

出版社：中国科学技术大学

出版年：2025

作者：王彦君

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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